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        蝕刻機噴頭的作用及維護

          1.蝕刻機噴頭的介紹:
        蝕刻機噴頭是蝕刻機噴淋裝置中最重要的一個部件,藥液噴淋的形狀是根據蝕刻機噴頭的種類來決定的,不同的蝕刻機噴頭所起到的作用是不一樣的。蝕刻機噴頭的作用及維護

          2.蝕刻機噴頭的作用:
        主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上,蝕刻機噴頭根據蝕刻機每道工序所對應的要求所選擇不同的種類。比如:常規情況下蝕刻段選擇用扇形,因為蝕刻段對壓力的要求比較高,而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會相對較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴,因為這兩處需要覆蓋面廣,而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
        扇形噴嘴:蝕刻機噴頭的作用及維護     錐形噴嘴:蝕刻機噴頭的作用及維護

          3.蝕刻機噴頭的維護:
        蝕刻液是通過蝕刻機噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來,這個小孔的直徑是很小的,所以是很容易堵塞的,而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來的殘渣都是顆粒狀的,使用的時間過長了這些固體顆粒物的形成就會堵塞噴頭,所以我們需要定期的清理蝕刻機的噴頭才能達到良好的腐蝕效果。
        堵塞后的噴嘴:蝕刻機噴頭的作用及維護

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